膜厚测量仪是一种用于测量薄膜或涂层厚度的仪器,广泛应用于材料科学、电子、光学、涂料、半导体等行业。
膜厚测量仪能够精确地测量材料表面上的薄膜厚度,以确保产品质量和符合相关标准要求。
膜厚测量仪主要类型:
1.光学膜厚测量仪:
原理:利用光的反射原理,光照射到薄膜表面时,会发生反射和干涉现象。
通过测量反射光的强度变化或干涉图样,计算出薄膜的厚度。
特点:适用于透明或半透明材料的薄膜测量。
常见的测量方法包括反射光谱法、干涉法等。
应用:用于光学薄膜、透明涂层、玻璃、半导体薄膜等材料的测量。
2.X射线荧光膜厚测量仪(XRF):
原理:通过利用X射线与材料相互作用时产生的荧光信号来测量膜层的厚度。
X射线照射到样品上,薄膜吸收一部分X射线并发出荧光,仪器检测到的荧光强度与膜层的厚度成比例。
特点:适用于多层涂层和金属薄膜的厚度测量,尤其在涂层和合金膜厚度测量方面具有优势。
应用:广泛应用于金属镀层、半导体加工、涂层工艺、汽车制造等领域。
3.电涡流膜厚测量仪:
原理:电涡流原理基于导电薄膜与探头之间的电磁相互作用,探头通过感应薄膜表面变化产生的电涡流来测量膜层厚度。
特点:主要用于非磁性涂层在金属基材上的测量,适用于导电材料(如金属)和非导电薄膜的测量。
应用:广泛应用于涂料、电镀、涂层、汽车、航空等行业。
4.超声波膜厚测量仪:
原理:利用超声波在材料中的传播速度和反射特性,通过测量超声波的回波时间来计算膜厚。
特点:可以测量较厚的膜层,尤其适用于不透明和较厚的涂层测量。
应用:主要用于厚膜涂层、涂料和塑料薄膜的测量,尤其在金属基板上的涂层厚度测量。
5.机械式膜厚测量仪:
原理:通过直接接触膜表面,利用探针或微型刀具的精密测量来测量膜厚。
特点:适用于较厚或坚硬的薄膜。
测量精度较高,但对表面光滑度要求较高。
应用:常用于工业生产中对厚膜、涂层的实际测量。
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